核心定位：全 PFA/PTFE 接液、无金属接触、气动波纹管泵，主打高纯腐蚀性药液循环 & 供液；注意：CMP 浆料优先 PC 系列，PE 不主推高固含 SlurryPILLAR
半导体（最核心，和你前面 INNODIS 阀、英特格 CMP 配套同一条产线）
湿法清洗设备槽式清洗、单片清洗机药液循环与补给；输送 SC1、SC2、DHF 稀氢氟酸、浓硫酸、磷酸、氨水、TMAH、剥离液、蚀刻液、UPW 超纯水
CDU / 化学品分配柜（供液单元）柜内循环泵、输送泵，给机台稳定送药液；低脉动、低离子析出，和 INNODIS PFA 阀、PFA 管路组成全氟无金属浸润回路。
显影 / 刻蚀 / 去胶湿台光刻配套显影液、有机剥离液输送；有机药液防爆友好（气动无电机火花）
辅助 CMP 回路只适合CMP 后清洗纯水、稀释药液循环；带研磨颗粒的抛光浆料官方推荐 PC 系列，PE 波纹管容易磨耗失效
FPD 面板（LCD / OLED）湿制程
彩膜、阵列段：显影液、蚀刻液、剥离液、清洗药液循环供给
玻璃基板清洗、ITO 蚀刻回路，低颗粒、低污染要求和半导体一致
光伏、第三代半导体湿制程
硅片湿法清洗、制绒、酸洗碱洗药液循环
SiC、GaN 衬底湿法腐蚀、清洗回路（高纯酸碱、HF 体系）
其他洁净化工场景
精密 PCB 湿制程：蚀刻、退膜药液输送
制药、精细电子化学品：高纯试剂灌装、循环输送
防爆工况：有机溶剂、易燃高纯药液（气动驱动，无电机）
关键区分
PE 系列：高纯清液、无颗粒 / 低颗粒腐蚀药液，循环、供液；波纹管柔性结构，不耐大量磨料颗粒
PC 系列：CMP 抛光 Slurry 浆料专用波纹管泵，抗磨料
PS-E 系列：同家族、更紧凑、自带低脉动设计，多用于单片清洗机 匹配你之前整套方案
CDU 柜：PE 泵 + INNODIS PFA 隔膜阀 + PILLAR SUPER300 PFA 接头 + 英特格 CMP 垫（抛光段），是国内湿法设备很经典的一套 UHP 高纯流体组合。
