日本皮拉中国区综合服务商    

说明：PILLAR 本身不做完整整机清洗机；它是半导体湿法清洗设备的核心流体部件供应商，各类风囊（波纹管）泵是清洗装置上的核心供液 / 循环部件，广泛用于晶圆槽式清洗、单片清洗、FPD 面板、光伏硅片清洗回路。通用基础特点（全系列共性）

1. 接液全部为PFA / PTFE 氟树脂（PILAFLON®），无金属接触药液；金属离子析出极低，适配强酸、强碱、双氧水、蚀刻液等高纯药液。

2. 纯气动压缩空气驱动，无电机；无火花，适合易燃易爆、高温高纯药液工况。

3. 无尘室生产组装，满足半导体高洁净等级；波纹管结构，无轴封，几乎零泄漏。

4. 分为中温版（~100℃）、高温 HB/H 版最高可达180℃，适配高温药液清洗工艺。

各主要产品系列与特点

1、PW 系列 —— 定量计量补液泵（药液补充用）

• 定位：定量点补，小冲程加注；清洗槽药液自动补加，微量定量给药

• 典型型号：PW‑5MA‑P、PW‑10MA‑P

• 吐出：每冲程 5 mL /10 mL，冲程频率 4‑40 次 / 分钟

• 特点：

• 重复吐出计量精度高；适合槽式清洗机药液微量补充；

• 流量不大，不适合连续大流量循环输送；

• 温度 10‑100℃，气动波纹管定量；

• 应用：湿法清洗槽酸碱药液补给、微量药剂添加。

2、PE / PE‑E 系列 SPELA™ 基础循环风囊泵（标准循环泵）

• 定位：连续药液循环输送；PE‑E 是 PE 的紧凑型版本，体积缩小

• 型号：PE‑5/10/20/40/80‑MA（中温）；PE‑10HB/20HB‑H（高温 130‑180℃）；PE‑E 紧凑型

• 流量范围：2.5‑82 L/min

• 特点：

• 标准波纹管泵；本身不带蓄压，脉动偏大，需要外接蓄压器 PA 系列做脉动缓冲；

• 性价比高；流量覆盖宽；高温版本支持热酸循环清洗；

• 应用：清洗机 CDS 供液柜、普通药液循环回路；硅片、面板清洗循环；

配套配件：PA 系列自动蓄压器，单独外接消除管路脉动水锤。

3、PS / PS‑E 系列 SPELA™300【内置蓄压低脉动泵】（高端主力）

• 定位：泵体内部集成蓄压缓冲结构，无需外置蓄压器！

• 型号 PS‑10/20/40MA；PS‑E 紧凑型；PS‑E‑10H/20H/40H 高温版最高 180℃

• 流量：10‑40 L/min

• 核心优势

• 机身自带蓄能缓冲，一台就实现低脉动输出，不用额外配蓄压罐；设备布局更紧凑；

• 管路冲击小，减少晶圆冲洗流量波动，适合单片喷淋清洗；

• PS‑E 进一步缩小整机体积，适配现代小型化湿法清洗设备；

• 应用：先进半导体单片清洗、高要求晶圆湿法制程，是目前 PILLAR 在清洗设备最主流型号。

4、PK 系列 —— 大流量风囊泵

定位：大流量循环；高扬程工况

• 型号 PK‑100H；流量最高 > 120L/min；

• 特点：

• 大口径，大流量；泵本体不带蓄压，必须外接 PA‑100H 蓄压器消除脉动；

• 供气压力可以给到 0.7MPa，扬程更高；

• 应用：大型槽式清洗设备、大容积药液槽整体循环。

5、PC 系列：CMP 研磨浆料专用泵

• 专门针对 CMP 后清洗含固体颗粒研磨浆料；波纹管抗颗粒磨损；

• 耐浆料颗粒，防止固体磨料卡滞；用于 CMP 后清洗回路输送研磨液。

6、PRS 系列

• 新一代改良低脉动机型；脉动比 PS 系列进一步压低；面向先进 12 寸晶圆更高端湿法清洗设备。

系列选型对比简表

表格

PILLAR 整套清洗流体配套元件

除泵以外，清洗装置管路大量使用 PILLAR SUPER‑300（S300）PFA 高纯接头、PFA 管件阀门；接头为行业事实标准，带 “咔哒” 到位反馈，保证高纯管路密封，低析出，整套流体回路全部氟树脂材质，和泵配套组成清洗机药液回路系统。

整体优缺点总结

优势

1. 全氟接液极低金属离子析出，匹配半导体清洗严苛洁净；

2. 气动无电机，适合高温酸碱药液；波纹管无轴封泄漏风险；

3. PS‑E 内置蓄压方案简化设备结构，减少配件；

4. 产品线完整，微量补液、中小循环到大流量、浆料工况全部覆盖。

短板

1. 气动泵流量受供气气压波动会轻微变化；对气源稳定性有要求；

2. PE/PK 系列必须额外采购蓄压器才可以降低脉动；

3. 波纹管属于易疲劳件，需要按周期维护更换波纹管耗材。