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PILLAR 波纹管泵（行业俗称风囊泵），气动容积式泵；主流 PE‑E / PS‑E / PK 系列；半导体、FPD、光伏湿制程用来输送高纯强腐蚀药液，接液全部 PFA/PTFE 氟树脂材质。

核心特点与优势

1、超高洁净耐腐蚀，低金属离子析出

• 全部过流接液部件 PFA / 改性 PTFE；泵体、波纹管、单向阀全部氟塑料；无任何金属接触药液。

• 洁净室内成型装配；金属离子溶出很低，适配电子级硫酸、硝酸、HF 氢氟酸、TMAH 显影液、剥离液；兼容绝大多数强酸碱蚀刻药液。

• 分常温（~100℃）、中高温版本最高可达 160‑180℃热药液输送，热药液工况优势明显。

2、波纹管（风囊）结构，无动密封、外泄漏为零

• 依靠PFA/PTFE 波纹管往复伸缩吸排药液；没有旋转传动轴，没有轴封动密封；只有法兰静密封，从根源消除轴封外漏风险。

波纹管本身是柔性疲劳件；PILLAR 波纹管褶皱处做 R 圆角优化，改善反复伸缩疲劳寿命，每只波纹管独立序列号管控原材料，降低开裂故障率。

3、压缩空气气动驱动，本质防爆安全

• 仅用压缩空气驱动（供气压力一般 0.2‑0.5MPa），不需要接入电源；泵本体无电机线圈，没有电火花风险；洁净室、防爆区域可以直接使用。

• 流量可以通过进气气压无级调节；改变供气压力就可以调整输出流量；无需变频电机。

4、自吸性能优秀，允许短时干运转

自带不错自吸能力；泵腔可以排空；允许短时间空转干跑（对比磁力离心泵非常重要）；

只允许短时干转，不能长期持续空转，否则波纹管疲劳会快速失效。

5、脉动性能：分内置稳压与外置蓄压器方案

• PS‑E 系列：泵本体内部集成蓄压稳压结构，单台泵就实现低脉动输出，不需要额外外接蓄压器，节省机台内部空间，设备集成最常用。

• PE‑E 紧凑型：基础款脉动偏大；对压力波动敏感的管路需要外接 PA 系列蓄压器消脉动；

• PK 大流量系列：标配外接蓄压器，用于大流量药液循环供给；

对比普通双隔膜气动泵：波纹管泵脉动整体更小，药液管路水锤冲击更小，对后端流量计、压力传感器更友好。

6、体积紧凑，适配机台设备集成

PE‑E 属于小型紧凑型，占地面积很小，适合半导体湿清洗机内部狭小空间内置安装；管路接口兼容 Pillar 原厂 SUPER‑300 入珠接头，和日系 PFA 管路系统直接匹配，不用转换接头。

7、可维护模块化结构

易损件波纹管、单向阀可以单独拆解更换，不用整台泵报废；维修更换备件即可恢复性能，降低长期使用成本； 部分型号支持漏液报警传感器；波纹管一旦发生破裂漏液可以输出开关报警信号给到 PLC，提前预警故障，防止药液漏进机台内部。

适用工况

半导体 / 面板 / 光伏湿制程：蚀刻药液、清洗药液循环供给 ， 高温高纯酸碱药液输送（磁力离心泵耐温往往偏低）， 设备内置集成，空间紧张，希望气动防爆、短时允许干转，需要低脉动输送，后端接精密流量传感器

局限性

1. 依然属于往复容积泵，无法做到完全零脉动；高要求工况务必选内置稳压 PS‑E 或者外加蓄压器；

2. 不适合带固体研磨颗粒的药液；颗粒会卡滞单向阀，造成内漏、回液；含颗粒浆料优先磁力泵或者隔膜泵；

3. 波纹管属于疲劳损耗件，随往复次数存在寿命上限；高温工况寿命会缩短，属于定期更换耗材；

4. 输出压力上限不高，属于低压药液输送泵，不适合高压管路。

横向简易对比

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